真空热处理炉主要依靠辐射传热，工作条件较好，但高温下易挥发，防止真空放电（低于100V）。镍铬和铁铬铝合金在真空中只能用于较低温度和中度真空范围，般使用电压为220V和380V。钼、钽、钨在真空中加热容易挥发，相应的使用温度降低，般使用电压为10--60V。硅碳棒真空中使用温度为1400℃，使用电压为220V和380V ，硅钼棒真空中1300℃发生软化，般使用电压为10--60V。

　　需要注意的是：采用油扩散泵(或增压泵)的真空系统，工作时先开动旋转泵预抽真空，当达到扩散泵或增压泵 大反压强时，油扩散泵才能投入工作。采用旋转泵、油扩散泵和增压泵组成的真空系统时，工作时先用旋转泵预抽真空，再用增压泵抽中真空，当大部分气体去除后，扩散泵再投人工作。

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　　真空炉工作原理与操作规程